В 1804 году Российская империя была поделена на пять горных округов - административных районов, в пределах которых концентрировались горные предприятия и во главе которых стояли берг-инспекторы. После 1861 года долго существовала так называемая горная полиция. Законом от 9 марта 1892 года учреждена особая горнозаводская инспекция.
В 1899 году присутствия по горнозаводским делам были объединены с присутствиями по фабричным делам. Издание обязательных постановлений по охране жизни и здоровья работающих стало исключительным правом главного по фабричным и горнозаводским делам присутствия.
Старейший специальный надзор - котлонадзор начал свою деятельность в XIX веке с развитием котлостроения. В 1910 году функции надзора были переданы обществам котловладельцев с предоставлением прав проведения освидетельствования и осмотра паровых котлов наравне с фабрично-заводской инспекцией.
Советский период истории надзора начался 17 мая 1918 года, когда Советом народных комиссаров был принят Декрет об учреждении инспекции труда, подчинённой наркомату труда. В августе 1918-го была создана Техническая инспекция из специалистов-инженеров.
30 января 1922 года декретом Совнаркома в составе Главного управления горной промышленности ВСНХ было создано Центральное управление горного надзора. В этом же году в составе наркомата труда СССР и наркоматов союзных республик была образована государственная горнотехническая инспекция.
Постановлением Совета Министров СССР № 3582 от 17.10.1947 г. было образовано Главное управление горного надзора при Совете Министров СССР. В 1954 году горный надзор получил статус государственного, начался процесс организованного объединения различных видов надзора на базе исторической и территориальной совместимости.
Для объединения функций в июле 1954 года был образован Комитет по надзору при Совете Министров СССР (Госгортехнадзор СССР). В том же году Госгортехнадзору СССР были переданы управления горных округов, а в 1955 году - горнотехнические инспекции министерств и ведомств Союза. Таким образом, Госгортехнадзор СССР стал единственным органом в стране, координирующим надзор за соблюдением правил безопасности при ведении работ на опасных производствах.
В 1958 году Госгортехнадзор СССР был ликвидирован, а его функции были переданы республиканским комитетам и инспекциям. Однако через десять лет Госгортехнадзор СССР был возрождён, а в 1989 году его объединили с Госатомнадзором СССР, и меньше двух лет он функционировал как Госгоратомнадзор СССР.
В ноябре 1990 года Госгортехнадзор РСФСР вновь стал самостоятельным. В 1992 году он стал именоваться Федеральный горный и промышленный надзор России (Госгортехнадзор России).
9 марта 2004 г. указом Президента РФ Госгортехнадзор России преобразован в Федеральную службу по технологическому надзору с передачей ей функций по контролю и надзору упразднённого Министерства энергетики РФ и преобразованного Государственного комитета РФ по строительству и ЖКХ.
20 мая 2004 г. указом Президента РФ Федеральная служба по технологическому надзору и Федеральная служба по атомному надзору преобразованы в Федеральную службу по экологическому, технологическому и атомному надзору (Ростехнадзор).